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■メーカー
●CKD(株)

■特長
●流量監視に抜群の使いやすさで、双方向計測も可能です。

■用途
●設備や塗装エアの消費流量管理。
●半導体製造装置パージガスの流量管理。
●イオナイザの流量管理。
●微小部品の吸着確認や吸着ミス管理。
●ノズルやフィルタの目詰まり検知。

■仕様
●最大流量(L/min):200
●接続サイズ:ワンタッチφ8
●分解能(L/min):0.10
●対象流体:清浄/圧縮空気・窒素ガス(アルゴン炭酸ガス)
●精度:±1%F.S以下
●耐圧保証:1MPa
●耐熱温度:0~50℃(結露なきこと)
●容器保護等級:IP40

■注意
●計量法に適合していませんので、工業用センサーとして使用してください。
●一次側にドレン、オイルミストなど異物除去用フィルターを設置してください。
●表示機能分離タイプもございます。

■原産国
●日本

■質量
●110.000G

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